勻膠機(jī)的特點(diǎn)及其工作原理

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勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。勻膠機(jī)主要用于液體，膠體的成膜性能試驗(yàn)，表面涂覆。  
一、產(chǎn)品特點(diǎn)：  
1、采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。  
2、5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置)，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。  
3、內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。  
4、多重安全保護(hù)。  
5、電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全。  
6、蓋子自鎖功能，防止飛片蓋開傷人。  
7、雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。  
8、一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。  
9、不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。  
10、適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP等多種材料。  
二、工作原理：  
勻膠機(jī)在MEMS微加工,生物,材料等領(lǐng)域得到了非常廣泛的應(yīng)用。其能夠用來對厚度比10納米還要小的薄膜進(jìn)行制備，也常常在1-100微米左右厚光刻膠沉積層的光刻工藝中得到應(yīng)用。  
半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等均能夠用許多平面基底材料來涂覆。  
利用負(fù)在片托上產(chǎn)生，在片托上吸附需要旋涂的基底材料，在基底材料的表面滴注膠液，利用對電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度的精確調(diào)節(jié)從而來使離心力大小得以改變，與此同時(shí)利用滴膠裝置來對膠液的流量進(jìn)行控制，從而使得制備薄膜所需的厚度達(dá)到。除此以外旋涂時(shí)間,膠液的粘度,涂覆的溫度和濕度等環(huán)境因素也會對薄膜厚度產(chǎn)生影響。

basanling

樓主的分享讓我受益匪淺，學(xué)到了不少新東西！

Denpseund

樓主的帖子真是及時(shí)雨，我最近也在研究這款設(shè)備。你的分析很到位，特別是關(guān)于設(shè)備性能和操作技巧的部分，讓我受益匪淺。我之前還有些猶豫，現(xiàn)在更加明確了選擇。謝謝你的分享！

sf3557

哈哈，樓主的回復(fù)太逗了，不過說得很有道理。