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多層膜厚度測試方法與相關應用

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	奮斗 2024-11-21 08:49

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發表于 2025-5-9 11:36:10 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式

多層膜厚度測試方法多樣，以下是一些常見方法及其應用：
測試方法
1.金相測膜厚度：
①設備：金相顯微鏡。
②適用范圍：適用于測量厚度大于1μm的金屬膜層，可同時測量多層。
③操作過程：被測樣品需要經垂直于待測膜層取樣進行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測量待測膜層厚度。
2.SEM測膜厚度：
①設備：掃描電子顯微鏡（SEM）。
②適用范圍：測試范圍寬，適用于測量厚度0.01μm至1mm的金屬或非金屬膜層。
③附加功能：配有能譜附件（EDS）的SEM設備可以確定每一層膜層的成分。
3.熒光測厚度（XRF測厚）：
①設備：X射線熒光測厚儀（XRF）。
②適用范圍：適用于測量厚度大于0.01μm的金屬膜層，可同時測量多層。
③特點：可以實現無損檢測（視樣品而定），測量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）。
4.XPS深度剖析：
①設備：X射線光電子能譜儀（XPS）。
②適用范圍：適用于測量納米級厚度的膜層。
③操作過程：XPS設備可以測試樣品極表面的元素成分（每次測量的信息深度為5nm左右），并且可以在樣品室內直接對樣品表面進行濺射，去除指定厚度（納米級）的表層物質，通過這兩個功能結合使用測量出納米級膜層的厚度。
5.臺階測厚方法：
①設備：臺階儀。
②適用范圍：對厚度的測量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測，但對樣品的要求很高，膜層與基材之間必須有臺階，且表面光滑。
6.干涉法：
①原理：通過分析由于薄膜厚度引起的光的干涉條紋來測量薄膜的厚度。
②應用：適用于透明或半透明的薄膜厚度測量，如光學涂層、半導體材料等。
7.橢圓偏振光解析法：
①原理：通過分析偏振光在薄膜表面的反射和相位變化來計算膜厚。
②適用范圍：適用于半導體、光學涂層、生物膜等材料，可測量極薄膜（低至1納米）。
8.X射線反射率測試（XRR）：
①原理：利用X射線在物質的表面和界面中發生的折射和反射，以及反射線之間的相互干涉所形成的干涉條紋對薄膜的性質進行研究。
②應用：可用于測量薄膜的密度、厚度、粗糙度等信息，在高分子薄膜研究中最常用于測量高分子薄膜的厚度。
9.原子力顯微鏡（AFM）：
①原理：利用探針與樣品表面之間的相互作用力來進行測量。
②操作過程：通過探針在樣品表面掃描，獲取樣品表面的拓撲圖像，并結合探針與樣品之間的力信號，計算出薄膜的厚度。
③適用范圍：適用于測量納米薄膜的厚度，可以測試薄膜范圍非常廣，包括有機薄膜、聚合物和光刻膠等。

相關應用
多層膜厚度測試在多個領域具有廣泛應用，如半導體制造、鍍膜行業、面板行業、新能源和光伏行業以及光學領域等。在這些領域中，精確的膜厚測量對于保證產品質量、提高生產效率以及推動技術創新具有重要意義。