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標題: cmp拋光液是什么？ [打印本頁]

作者: mt_s 時間: 2025-7-4 09:31
標題: cmp拋光液是什么？
CMP拋光液是化學機械拋光（Chemical Mechanical Polishing）工藝的關鍵耗材，主要用于半導體、集成電路、光學器件等精密制造領域的表面平整化處理。
其核心成分通常包括磨料（如二氧化硅、氧化鋁、氧化鈰等納米級顆粒，作為物理研磨的“介質”）、化學添加劑（如酸/堿調節劑、氧化劑、絡合劑等，通過化學反應軟化或溶解材料表面）、分散劑（防止磨料團聚，保證拋光液穩定性）及去離子水等。工作原理是利用磨料的機械研磨作用和化學試劑的腐蝕作用協同作用，在壓力和拋光墊的摩擦下，將工件表面的凸起部分逐步去除，最終實現原子級別的表面平整度。
不同應用場景對CMP拋光液的配方要求差異顯著：例如半導體制造中硅片拋光需使用高純度二氧化硅基拋光液，而金屬層（如銅、鎢）拋光則需搭配特定氧化劑與絡合劑。該材料的技術門檻高，性能直接影響芯片良率和器件可靠性，是半導體產業鏈中不可或缺的關鍵材料。

作者: 小尾巴123 時間: 2025-11-29 11:24
樓上說得太對了，我也是這樣想的。

作者: 夏末淺秋 時間: 2025-12-6 18:13
您的帖子讓我深受啟發，仿佛打開了一扇新世界的大門，感激不盡！

作者: 體力-1 時間: 7 天前
感謝樓主帶來的干貨，讓我們在儀器/設備領域少走彎路～

作者: zhouyiq 時間: 6 天前
能否提供更多細節？我對這個話題很感興趣。

作者: zyll 時間: 3 天前
干貨內容，收藏了

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